pco.edge 4.2 bi UV相機在薄膜分析中的應用
（文獻部分內容摘抄）
橢圓偏振光譜法是一種無損的光學表面表征技術。它通過以傾斜入射角度照射偏振電磁輻射來探測樣品，光子能量通常在電磁波譜的紫外部分到紅外部分之間。橢圓偏振光譜一般檢測探測光束的偏振橢圓的任何變化--因此得名“橢圓偏振光譜”，這種變化可能發生在探測光束從樣品表面反射時。這種變化幾乎是由覆蓋樣品表面的任何薄膜引入的，因此，橢圓偏振光譜的主要應用之一是確定薄膜的厚度，范圍通常在0.1nm到20 um之間。
特別是成像橢偏儀將傳統的橢偏儀與光學顯微鏡相結合，從而使橢偏儀研究的橫向分辨率降至1um。因此，它非常適合于研究結構化或非常小的樣品，如二維材料的MEMs、FETs、生物芯片或薄片。
近年來，人們對使用寬帶隙半導體如碳化硅(Sic)、氮化(GaN)等的高功率電子學越來越感興趣。為了表征這些材料，重要的是要用光子能量高于材料帶隙的電磁輻射探測樣品。由于較短波長具有較高的光子能量，因此最好在盡可能短的波長下進行橢偏研究。
作為成像橢偏儀的一些領先的生產商已經使用CCD和CMOS相機技術超過20年。關于紫外線范圍，到目前為止，他們的產品由于缺乏適當的、科學級的、高靈敏度、低噪聲的探測器而受到限制，因此只能使用下述方法進行250 nm以下的研究精密的背照式小型CMOS相機。
隨著pco.edge 4.2 bi UV的出現，pco.edge 4.2紫外線相機完全改變了這種情況。作為一種低光照應用，成像橢偏儀尤其受益于sCMOS技術的超高靈敏度和極低的噪聲水平。結合事實上，pco.edge 4.2 bi UV紫外線額外的特點一個非常好的響應在紫外光譜的光，這是第一次，有可能建立一個成像橢球儀的工作在190 nm至1000 nm的波長范圍。
成像橢偏儀 EP4是一個模塊化設備，可配備多種光源、探測器和樣品處理系統。可以對小樣本以及直徑達300毫米的硅片進行研究。
德國Excelitas PCO公司的pco.edge 4.2 bi UV相機，具備超高靈敏度、極低的噪聲水平、光譜響應敏捷的優點，將紫外實驗過程完美記錄，為實驗提供強而有力的圖像數據支持。
廣州市元奧儀器有限公司作為德國Excelitas PCO公司紫外攝像機在中國的代理商，為客戶提供各種高速成像系統解決方案，如對相關產品感到興趣，公司網址：www.gzyaco.com、電話：400-860-2677。
Copyright(C) 1998-2025 生物器材網 電話：021-64166852;13621656896 E-mail：info@bio-equip.com