天澤智能科技推出全新磁控離子濺射儀

近日天澤智能科技發(fā)展（天津）有限責(zé)任公司通過對過往產(chǎn)品的系統(tǒng)化改造升級，推出全新TZZN-1000型、TZZN-100型磁控離子濺射儀等產(chǎn)品及設(shè)備。此外天澤智科技能還推出定制設(shè)備服務(wù)，支持定制最大125毫米超大濺射靶頭的離子濺射儀，以及避免氧化反應(yīng)的專用手套箱離子濺射儀等產(chǎn)品。
 

TZZN-1000型	TZZN-100型

 
通過掃描電子顯微鏡圖片分析，天澤智能科技發(fā)展（天津）有限責(zé)任公司最新推出的TZZN-100/1000系列，高分辨大倍率的圖像下鍍膜的均勻性完全可以媲美同類型的進(jìn)口產(chǎn)品。
    整體含濺射主機(jī)和真空系統(tǒng)組成，濺射靶頭被設(shè)置成為一個二級濺射結(jié)構(gòu)，通過均勻恒定的電場激發(fā)并電離氣體分子，形成穩(wěn)定的回訪放電現(xiàn)象，被電離的離子和電子在這個電場下進(jìn)行加速，從而使靶原子逃離靶材表面在樣品上面形成納米涂層。
 

改造前的濺射源（靶頭）TZZN-200/100型
改造后的濺射源（靶頭）TZZN-1000/CK/STX型

 
在改良過程中增加了一個恒定的磁場形成磁控約束方式，在輝光放電的過程中，帶電粒子在原來的電場加速狀態(tài)下，附件一個恒定的用磁場，利用帶電粒子的特性，從而達(dá)到約束粒子運動的方向，改變原有的運動變化，改善濺射源的工作效率。
 
外加磁場的設(shè)置方式可根據(jù)不同的需求進(jìn)行改變，經(jīng)過試驗天澤智能科技發(fā)展（天津）有限責(zé)任公司采取沉浸式的磁控方式，這種方式的優(yōu)勢，對于控制離子的運動和靶材的利用效率最為有效。
 
其他的升級和便利化設(shè)計，也都在天澤智能科技發(fā)展（天津）有限責(zé)任公司的廣大客戶幫助下進(jìn)行便利化，通用化的改造升級。（如下圖所示）
   
1.增加的靶頭的鉸鏈結(jié)構(gòu)
2. 升降樣品臺結(jié)構(gòu)設(shè)計
3. 電子計時的升級
4.外觀優(yōu)化
5.增加自動放氣系統(tǒng)
6.改善密封系統(tǒng)更好的保護(hù)樣品室
   
截止目前我司最早推出的200型離子濺射單臺穩(wěn)定使用時間已經(jīng)長達(dá)10年，今日我司推出的新品離子濺射儀也定會繼承其高穩(wěn)定、高可靠性的特點，從而更好的服務(wù)于廣大客戶。